国产半导体设备突围需要的远不止光刻机

2023-08-17 16:36:13 编辑：谭月政来源：

导读近日，上海积塔半导体的总工程师李晋湘在国内某半导体设备行业活动上发言称，国产半导体设备经过多年的努力。目前看似除了光刻机其他都能够...

近日，上海积塔半导体的总工程师李晋湘在国内某半导体设备行业活动上发言称，国产半导体设备经过多年的努力。目前看似除了光刻机其他都能够做出来，但是任何一款设备从研发完成到可以在芯片生产线上大规模的运用。保障芯片制造的良品率还是有着很长的路要走，对于我们来说需要的远远不止光刻机这种设备。

据了解，积塔公司是中国国内一家比较知名的特色工艺晶圆厂，中芯国际的创始人张汝京目前是该公司的执行董事，李晋湘早年曾从事过半导体设备的研发和制造工作，后续投身到晶圆厂负责芯片的生产和设计。对实于设备在生产过程的实际应用是有着较高的权威发言权，他在当天的演讲中坦率地指出国内设备上存在的一些短缺之处，比如在目前的芯片生产线中，没有任何一台国产的光刻机投入运用，国产光刻机都处于科研阶段。

良品率是晶圆厂的生命线，如果芯片的良品率不达标，那么企业生产的芯片越多，亏损就越多，这样会导致企业根本无法生存下去，相应而言国产设备在效率，稳定性以及工艺特色方面与国外龙头有着较大的差距。这些差距都是需要及时弥补的，比如晶圆厂从海外厂商购买了价值上十亿元的光刻机，虽然速度是比较快，但是其他备环的国产设备如果跟不上进度，仍旧会在生产层次上造成较大的资源浪费。