EUV光刻机不香了佳能造出纳米压印设备已经开始测试

2023-09-19 17:19:45 编辑：邵燕晴来源：

导读近日，有消息传出一种新的光刻机技术或将取代euv光刻机，这个消息已经传出便引起各界的广泛关注。说起光刻机很多人想到的是阿斯麦公司的Euv...

近日，有消息传出一种新的光刻机技术或将取代euv光刻机，这个消息已经传出便引起各界的广泛关注。说起光刻机很多人想到的是阿斯麦公司的Euv光刻机，这个光刻机是世界上最先进的光刻机，不仅交付周期长，而且维修成本还极高。总而言之这种光刻机的制作技术难度十分大，也正因如此，阿斯麦公司在光刻机领域有着非常强的话语权。

由于光刻机的重要性，很多国家都在寻求新的技术路线，希望能够打破阿斯麦公司在先进半导体制造方面的垄断，比如纳米压印技术便在人们的支持下研发出来，这种技术被人们认为是最有可能替代euv光刻机的新一代技术，他是将设计在模板上的微小图形，通过压印的技术转移到涂有高分子材料的硅基板上。

纳米压印技术的分辨率是由所用的模板图形大小来决定的，物理上并没有光刻中的一些限制，所以可以实现纳米级别的线宽图形，如果说的更透白一点，纳米压印技术就像盖章一样，先刻好相应的图案，再将这些图案刻在掩膜上，让整个图形固化起来最终完成雕刻的过程。

总而言之，这种技术如果成型那么比传统的光刻机技术相比有着更多的优势，普通的光刻机分辨率是由光源波长来决定的。发展到如今的极紫外光13.5纳米就已经非常困难了，也因为这些原因让光刻机的制作成本变得更高，纳米压印技术就没有这方面的限制。模板是什么样的分辨率，做出来的就是东西就是什么样的，而且还能降低40%的制造成本，在节省能耗方面可以做到减少90%的耗电量。